Toshiba 于彩色CCD应用

CCD图像传感器是一种新型半导体器件一电荷祸合器件,為一种MOS集成电路。具有体积小、重量轻、功耗小、工作电压低和抗烧毁等优点,在分辨率、动态范围、灵敏度、实时传输等方面的优越性。目前,CCD图像传感器不论在文件复印、传真、零件尺寸的自动测量和文字识别、交通监控等民用领域,还是在空间遥感遥测、水下扫描摄像等系统中都发挥着重要作用。圖像傳感器CCD(Charge Coupled Device),使用一种高感光度的半导体材料制成,能把光线转变成电荷,通过模拟转换器芯片转换成数字信号,数字信号经过压缩以后由相机内部的闪存或内置硬盘卡保存,把数据传输给计算机,并借助于计算机的处理来修改图像。

       CCD能存储由光产生的信号电荷。当对它施加特定时序的脉冲时,其存储的信号电荷便可在CCD内作定向传输而实现自扫描。它主要由光敏单元、输入结构和输出结构等组成。它具有光电转换、信息存贮和延时等功能,而且集成度高、功耗小,已经在摄像、信号处理和存贮3大领域中得到广泛的应用。CCD是一种半导体器件,能够把光学影像转化为数字信号。CCD上植入的微小光敏物质称作像素(Pixel)。像素数越高,面积越大,成像质量就越高越清晰。CCD上有许多排列整齐的电容,能感应光线、储存信号并将影像转变成数字信号。经由外部电路的控制,每个小电容能将其所带的电荷转给相邻的图像处理器来形成图像。

       图像传感器是按一定规律排列的MOS(金属—氧化物—半导体)电容器组成的阵列。在P型或N型硅衬底上生长一层很薄(约120nm)的二氧化硅,再在二氧化硅薄层上依次序沉积金属或掺杂多晶硅电极(栅极),形成规则的MOS电容器阵列,再加上两端的输入及输出二极管就构成了CCD芯片。『彩色传感器的机构包括3条光电二极管行线路,并有一个彩色滤光片(红色、绿色和蓝色),可利用白色光源获得彩色图像。传感器为每个滤光片备有光电二极管行,因此可获得分辨率相同的彩色图像。』(作者:东芝;出处:https://toshiba-semicon-storage.com/cn/semiconductor/product/linear-image-sensors/color-sensor.html)
                                                            资料来源: 东芝(https://toshiba-semicon-storage.com/cn/semiconductor/product/linear-image-sensors/color-sensor.html)

       MOS电容器是构成CCD的最基本单元,它是金属—氧化物—半导体(MOS)器件中结构最为简单的。CCD的基本工作过程主要是信号电荷的产生、存储、转移和检测。典型的 CCD 器件有四层:(a)底部掺杂硼的硅衬底(Silicon Substrate)、(b)沟道停止层(Channel Stop)、(c)氧化层(Silicon Dioxide)和(d)用于控制的栅电极(Polysilicon Gate Electrode)。当栅极电压高时,氧化层下方会产生势能阱(Potential Well)。传入的光子可以激发势阱中的电子,这些电子可以被收集和引导,周围的掺杂区可防止受激电子泄漏。使用 CCD相机生成图像,可分为四个主要阶段或功能:通过光子与器件光敏区域相互作用产生电荷、收集和存储释放的电荷、电荷转移和电荷测量。

(1)信号电荷的注入:CCD工作过程的第一步是电荷的产生。CCD可以将入射光信号转换为电荷输出,依据的是半导体的内光伏效应。在CCD中,电荷注入的方式可分为光注入和电注入两类。光注入为当光照射到CCD硅片上时,在栅极附近的半导体体内产生电子-电洞对,多数载流子被栅极电压排斥,少数载流子则被收集在势能阱中形成信号电荷。电注入為CCD通过输入构对信号电压或电流进行采样,然后将信号电压或电流转换为信号电荷注入到相应的势能阱中。

(2)信号电荷的存储:CCD工作过程的第二步是信号电荷的收集,就是将入射光子激励出的电荷收集起来成为信号电荷包的过程。当向SiO表面的电极加正偏压时,P型硅衬底中形成势能阱,势能阱的深度随正偏压升高而加大。其中的少数载子电子被吸收到最高正偏压电极下的区域内,形成电荷包。对于N型硅衬底的CCD器件,电极加正偏压时,少数载流子为电洞。



(3)信号电荷的传输(耦合):CCD工作过程的第三步是信号电荷包的转移,就是将所收集起来的电荷包从一个像元转移到下一个像元,直到全部电荷包输出完成的过程。

(4)信号电荷的检测:CCD工作过程的第四步是电荷的检测,就是将转移到输出级的电荷转化为电流或者电压的过程。

        CCD 芯片按比例将一定数量的光子转换为一定数量的电子,但光子的波长,也就是光线的颜色,却没有在这一过程中被转换为任何形式的电信号,因此 CCD 实际上是无法区分颜色的。如果在 CCD 表面覆盖一个只含红绿蓝三色的滤光片,再加上对其输出信号的处理算法,就可以实现一个 CCD 输出彩色图像数字信号。
                                                   资料来源: 东芝(https://toshiba-semicon-storage.com/cn/semiconductor/product/linear-image-sensors/color-sensor.html)


东芝CCD 参数特性 : 


                                                     资料来源: 东芝(https://toshiba-semicon-storage.com/cn/semiconductor/product/linear-image-sensors/color-sensor.html)




                                                       资料来源: 东芝(https://toshiba-semicon-storage.com/cn/semiconductor/product/linear-image-sensors/color-sensor.html)



                                                  资料来源: 东芝(https://toshiba-semicon-storage.com/cn/semiconductor/product/linear-image-sensors/color-sensor.html)

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